静压空气轴承拥有清洁、近零摩擦等优点，是一种优秀的运动导向承载部件，但是它在承栽方向上阻尼较小，对外界引起振动和空气轴承本身固有微振动的衰减较慢，影响了系统的稳定性和测量准确性．为了解决这个问题，本文以小孔节流空气轴承作为研究对象，在其结构中部增设了类似空气弹簧的上下腔室和节流孔，当空气轴承振动时，压力空气在上下腔室之间流动，通过节流孔处的节流效应将振动能量衰减掉．根据这一构想，首先对新结构通过空气弹簧理论进行了初步优化设计，接着对新结构空气轴承和普通空气轴承进行了冲击响应实验，证实了新结构能够很好地起到快速衰减振动的作用，同时对微振动有良好的抑制效果，然后通过模态分析软件MEscope得到了空气轴承的阻尼比系数，发现新结构空气轴承阻尼比系数较普通结构空气轴承阻尼比...

在超精密加工／检测、IC制造及光学领域中，隔振器已经成为了许多设备的必要子系统，它能够对自地面或负载的振动进行隔／减振，有助于保证设备实现最终的设计精度。在众多的隔振器中，空气弹簧以其性价比高得到了广泛地应用，其固有频率基本不依赖于负载。在C．Erin的研究基础上，将节流孔数目参数引入，通过推导得到了空气弹簧的改进理论模型，并在此基础上分析了腔室、节流孔及或活塞等结构参数对空气弹簧动力学性能的影响，有助于进行结构的优化设计，同时得出在节流孔板高度即节流孔长度限制的条件下，减小节流孔直径并增加节流孔数量会提供较好的阻尼效果。最后通过试验验证了理论分析的结果，为以后的深入被动及主动隔振器的研究打下了基础。