对近年来硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的几种微传声器进行了论述,对其优缺点进行分析和研究表明这些传统的传声器主要起声电转换的作用,对噪声信号的滤波处理是由专用滤波电路完成,或者用数字滤波进行处理.为此提出了一种硅微阵列滤波器传声器,在转换信号的同时实现滤波.讨论了阻尼和硅簧片根数对动态特性的影响,并由此得出阻尼的增加会降低传声器的灵敏度,簧片根数的增加可以改善灵敏度曲线.而且在获取噪声信号的同时能够实现滤波.

为了测量波长在0.2~2 nm范围内的金丝内爆X射线的空间分辨光谱,利用椭圆自聚焦原理,研制了一种椭圆晶体谱仪。季戊四醇（PET）（002）椭圆弯晶作为色散分析元件,其离心率为0.9480,焦距为1348 mm,布拉格角范围为30°~67.5°。设计了半径为50 mm的半圆型胶片暗盒,内装X光胶片接收光谱信号。在＂阳＂加速器装置上先沿X射线水平方向进行摄谱实验,然后将谱仪沿X射线轴旋转90°,再进行金丝内爆实验。两次实测金丝内爆等离子体X射线的跃迁光谱相符,谱线分辨率（λ/Δλ）达300~600。实验结果表明该谱仪适合金丝内爆等离子体X射线的光谱学研究。