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> 杜建通
微型硅半导体低温温度计的特性与制作工艺
作者:
杜建通
张荣玲
来源:
低温与超导
日期: 2023-06-15
人气:28
论述了微型硅半导体低温温度计的各种优良特性,并运用电子材料及其工艺原理设计 一套保证其具有优良特性的制作工艺,通过测量可知,这种温度计在液氮温度下具有良好的复现性,且其电压信号与温度信号人有良好的线性关系,可望在低温工程中获得广泛的应用。
关键词:
硅
半导体
低温温度计
制作工艺
温度计
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