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微型硅半导体低温温度计的特性与制作工艺

作者: 杜建通 张荣玲 来源:低温与超导 日期: 2023-06-15 人气:28
微型硅半导体低温温度计的特性与制作工艺
论述了微型硅半导体低温温度计的各种优良特性,并运用电子材料及其工艺原理设计 一套保证其具有优良特性的制作工艺,通过测量可知,这种温度计在液氮温度下具有良好的复现性,且其电压信号与温度信号人有良好的线性关系,可望在低温工程中获得广泛的应用。
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