介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜，使用了一个主动阀和一个被动阀，并利用压电双晶片作为驱动部件。压电双晶片和PDMS泵膜的组合可以产生较大的泵腔体积改变和压缩比，显著降低了加工成本，并提高了成品率。对压电微泵的输出流量进行了测试，结果显示：电压、频率以及背压对流量均有显著影响。在100V，25Hz的方波驱动下，该压电微泵的最大输出流量为458μL／min，最大输出压力为6kPa。

介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜,利用双面湿法腐蚀形成被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。对压电双晶片的理论变形量和压电微泵的泵腔变化量、泵腔压缩比进行了理论分析,并对其输出流量进行了测试。在100 V、20 Hz的方波驱动下,该压电微泵的最大输出流量为317μL/min。结果显示该压电微泵的制作工艺简单,具有良好的流体驱动性能。

为解决微流体在微流控芯片上的单向流动，进而实现生化反应的片上系统，采用微机电系统（MEMS）技术加工出SU-8胶微型阀片．SU-8胶阀片具有弹性模量和弹性常数低、开启压力小、反向泄漏小、易于加工等特点．从理论上分析了不同厚度（10μm，15μm，20μm，25μm）的微型阀片在不同压力作用下的挠度和应力分布，在相同尺寸和压力下，SU-8微阀片的挠度与传统的硅阀片的挠度相比要大10倍左右．讨论了有阻尼作用下的谐振频率以及过流特性。可知阀臂和阀座的尺寸是影响阀片性能的主要因素．给出了加工工艺，测试了阀片的正反向过流性能，以水作为工作物质，得到3种厚度阀片的过流曲线，其最大正向流速达到7000μL／min．

微泵是微全分析系统中的重要单元．为解决微泵加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题，研制了两种应用于微流控系统中的压电驱动微泵．一种是将聚二甲基硅氧烷（PDMS）泵膜、单主动阀片和弹性缓冲单元集于一体的微泵，另一种是主动阀片与被动阀相结合的微泵，这两种微泵都适用于气体和液体工作物质，实现自吸，具有结构简单、易于加工及操作方便的特点．讨论了微泵的工作原理、工艺流程、工作性能及结构参数对微泵工作性能的影响，解决了加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题．在电压100V（35 Hz条件下）和零背压的工作条件下，单主动阀微泵的最大液体泵速为5000μL／min，最大背压为5 kPa；主动阀与被动阀相结合微泵的最大液体泵速5410μL／min，最大背压15kPa．后者背压与流速明显比前者的性能要好很多，尤其是背压方面．