测量精度达3.2nm的在线表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统
介绍了用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪整机的信号处理系统着重讨论了其中的两项关键 技术即利用负反馈构成的宽动态范围测量信号的自动电压控制以及依据计大数和测小数相结合的高精度动态相位测量系统的测量精度达2.6°(相当于 3.2nm)允许测量中最大多普勒频移±10kHz(对应高度的变化率±8.75×10-3m/s)完全满足磨床加工中表面粗糙度在线测量的要求。现 场测试证实了这一点这对于精加工、超精加工表面粗糙度的在线质量控制、提高加工精度等非常重要。
用于纳米测量的扫描X射线干涉技术
介绍扫描X射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义,阐述了该技术的基本原理,全面介绍发国外在该领域的研究现状,并对影响纳米影响的扫描X射线干涉技术的主要因素进行了分析。
LLL型X射线干涉仪中的晶片厚度的最佳选择
要实现X射线干涉测量,关键是Moire条纹要有良好的对比度,接收信号要有足够的强度。影响Moire条纹对比度及信号强度的因素很多,仅对通过优化干涉仪中晶片的尺寸实现Moire条纹高对比度及信号高强度的方法进行了理论分析。
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