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> 罗斯建
一种电容式微机械加速度计的设计
作者:
郑旭东
曹学成
郑阳明
罗斯建
王跃林
金仲和
来源:
传感技术学报
日期: 2023-06-02
人气:26
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度。对加速度计进行了结构设计和分析。给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法。初步测试结果表明,该加速度计的灵敏度比较理想,谐振频率与理论计算相吻合。
关键词:
电容式加速度计
微机电系统
深反应离子刻蚀
滑膜阻尼
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