用于非金属材料剪切工作的剪板机,其气动回路设计依据消障过后的X-D状态图,绘制出系统逻辑原理图,并使用FluidSIM软件对气动回路进行了运行仿真,从仿真状态图可以看出设计动作全部实现,达到预期效果。

用于加工芯片的光刻机,气动回路设计依据消障过后的X-D状态图,绘制了系统逻辑原理图。利用FluidSIM软件,按照动作顺序,搭建气动控制回路进行运行仿真。各气缸的仿真状态图显示,所有动作符合设计要求,达到了预期效果。