针对微细铣削表面形貌的各种影响因素,基于机床系统动态特性,建立了微细铣削表面形貌模型。采用响应耦合法得到铣刀的动态特性函数,并结合铣削力模型计算铣刀的动态挠度,将铣刀挠度引入微细铣削轨迹方程。设计了以主轴转速、进给速度、径向切削深度和铣削方式为主要影响因素的正交试验。通过实验结果和仿真模型分析了微细铣削对表面形貌的影响因素。分析结果表明,主轴转速、进给速度、径向切削深度和铣削方式是影响微细铣削表面形貌的最重要因素。