以精密导轨研磨抛光机为研究对象,针对Al2O3陶瓷导轨的特性、导轨加工机床结构特点和机床加工、装调难度,对精密导轨研磨抛光机进行了总体设计。以ANSYS静力学分析和模态分析为依据,对机床主体结构、主轴结构等进行了设计。最后,利用研制的精密导轨研磨抛光机对Al2O3陶瓷导轨进行试件加工,利用Zygo平面干涉仪检测面形,最终面形精度PV值0.63λ(λ=632.8nm),具有很高的精度。