通过对半球阀阀芯(小口径Dn150mm以下)的研磨工艺进行研究,得出研磨速度、研磨压力对研磨的效率影响较大,正弦波研磨轨迹能有效降低表面粗糙度;超声/机械复合研磨,可以提高加工效率,提高尺寸精度、球面度,降低表面粗糙度;设计出具有三维弹性浮动支承、可调节研磨速度和研磨压力、按正弦波轨迹运动、保证超声振动加工条件的机构。