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> 金属基片
新型薄膜应变元件
作者:
宋晓辉
杨光
来源:
上海计量测试
日期: 2023-02-20
人气:4
介绍一种改良的薄膜应变片,革新前后对比表明,显著改善了元件特性,应变灵敏度系数高,电阻率高,耐热性良好。
关键词:
薄膜应变片
薄膜元件
硅氧化膜
金属基片
耐热性
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