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> 结构保真性
闪耀光栅制备工艺与结构保真性研究
作者:
孙国良
王海容
高鲜妮
蒋庄德
来源:
压电与声光
日期: 2023-04-17
人气:3
针对气体检测中分光应用的闪耀光栅,该文在硅片上制备聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)薄膜,采用热压印及后续工艺制备了硅基的聚甲基丙烯酸甲脂闪耀光栅,通过实验分析研究了复制闪耀光栅的保真特性。研究表明,通过聚甲基丙烯酸甲脂制备、热压印及后续工艺可得到具有高保真性的微闪耀光栅,而这种方法所获得的闪耀光栅与传统方法加工的闪耀光栅相比,在效率、成本方面均具有较明显的优势。
关键词:
热压印
闪耀光栅
制备工艺
聚甲基丙烯酸甲脂
结构保真性
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