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闪耀光栅制备工艺与结构保真性研究

作者: 孙国良 王海容 高鲜妮 蒋庄德 来源:压电与声光 日期: 2023-04-17 人气:3
闪耀光栅制备工艺与结构保真性研究
针对气体检测中分光应用的闪耀光栅,该文在硅片上制备聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)薄膜,采用热压印及后续工艺制备了硅基的聚甲基丙烯酸甲脂闪耀光栅,通过实验分析研究了复制闪耀光栅的保真特性。研究表明,通过聚甲基丙烯酸甲脂制备、热压印及后续工艺可得到具有高保真性的微闪耀光栅,而这种方法所获得的闪耀光栅与传统方法加工的闪耀光栅相比,在效率、成本方面均具有较明显的优势。
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