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X射线Kirkpatrick-Baez显微镜用超反射镜的研制

作者: 顾春时 王占山 王风丽 张众 穆宝忠 秦树基 陈玲燕 来源:强激光与粒子束 日期: 2022-08-30 人气:8
X射线Kirkpatrick-Baez显微镜用超反射镜的研制
介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的光学元件——X射线超反射镜。选用的W和B4C作为镀膜材料,膜对数为20,采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计,用磁控溅射的方法在si基片上完成了W/B4CX射线超反射镜的制备。采用高分辨率X射线衍射仪(8keV)测量了X射线超反射镜的反射特性。制备的X射线超反射镜在掠入射角分别为1.052°和1.143°处,反射角度带宽为0.3°,反射率达到20%,可满足KB型显微镜的要求。
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