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> 纳米级技术
纳米级二维激光外差干涉仪的设计
作者:
陈晓梅
曹航
来源:
光电工程
日期: 2023-04-27
人气:6916
提出了一种50μm测量范围内,2nm不确定度,、0.5nm分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声制器和稳频He-Ne激光器获取频差小于200kHz的正交偏振双频激光束,X和Y二臂偏振干仪将采用差分干涉仪,采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。
关键词:
激光干涉仪
位移测量
纳米级技术
光学设计
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