扫描近场光学显微镜(SNOM)打破了传统光学显微镜的衍射极限分辨率,自80年代中期出现以来在10多年的时间内获得了迅速的发展,并在很多的领域有很广阔的应用前景。扫描探针的形状及针尖的大小是影响SNOM分辨率的关键因素之一。本文利用自己设计的实验装置提出一种制备探针的新颖热拉法,并将热拉法和腐蚀法相结合,大大提高了实验的成功率。两种方法获得的针尖最优尺寸分别可达96nm和76nm。