针对新一代大射电望远镜机电光一体化设计馈源高精度轨迹跟踪要求,提出采用Stewart平台作为馈源运动轨迹跟踪二级精调平台.对Stewart精调平台进行了逆动力学分析;利用上下平台之间的位置向量关系,给出了Stewart精调平台运动精度分析模型及其轨迹跟踪精调结果.证明了Stewart精调平台用于新一代大射电望远镜工程的可行性.