基于大规模集成电路加工技术介绍具有任意图形编码的二值位相光栅的制作 过程。其中包括振幅模母版的制作和掩模图形的转移两部位。针对制作的２５×２５扇出的Ｄａｍｍａｎｎ光栅，给出了实测结果。

分析了两种焦平面探测系统信息处理能力，给出了所设计的新型激光粒度仪的光路实例，结果表明球面波照明的焦平面探测系统具有更大的综合优势。