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> 硬膜
硬膜矩形带通滤光片
作者:
费书国
廖邦俊
来源:
光学仪器
日期: 2023-03-11
人气:1
介绍了带宽系列30~40nm的硬矩形化带片的设计和制造方法。采用七半滤系以获 得形化程度较高的通带波形和深度的背景抑制特性(OD5~OD6),结合工艺特性和允差模拟分析对膜系进行优化设计。采用光学过正极值法监控膜厚,彩非球面夹具解决膜厚均匀性问题,文中给出了设计和测试结果。
关键词:
硬膜
矩形带通
通带邻域背景
波形系数
滤光片
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