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硬膜矩形带通滤光片

作者: 费书国 廖邦俊 来源:光学仪器 日期: 2023-03-11 人气:1
硬膜矩形带通滤光片
介绍了带宽系列30~40nm的硬矩形化带片的设计和制造方法。采用七半滤系以获 得形化程度较高的通带波形和深度的背景抑制特性(OD5~OD6),结合工艺特性和允差模拟分析对膜系进行优化设计。采用光学过正极值法监控膜厚,彩非球面夹具解决膜厚均匀性问题,文中给出了设计和测试结果。
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