随着信息技术的发展对高密度波分复用（ＤＷＤＭ）滤光片的需要越来越大。而高精度性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备ＤＷＤＭ滤光片的关键，文中论述了所建立的制备用１００ＧＨｚ～５０ＧＨｚ ＤＷＤＭ滤光片的高精度高性能的光学膜膜厚监控系统。该系统的波长分辨力的０．１ｎｍ，重复性精度为±０．０５ｎｍ，信噪比与温度漂移特性分别±０．０１％和０．０５％／ｈ。还论述了该系统的实际实验结果。