利用现代精度设计理念设计纳米三坐标测量机的结构，选用高精度的零部件进行组装，解决了传统阿贝误差问题，通过研究现代精度保障理论和技术，进行纳米级水平的误差源全面分析，推导各个不确定度分量的计算公式，根据给定的精度指标设计合理的精度，提出所需检定仪器的具体技术指标，精度设计的结果满足了纳米三坐标测量机的测量精度要求．