用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备的主要装置，其核心与关键是频率自动跟踪与锁相速度。文中构建了一种变频式超声波发生器，并对其中的高速锁相进行分析。通过换能器的电流反馈，采用基于嵌入式的数字式真有效值试探算法，超声波发生器锁相速度比传统速度提高数十倍，达到高速锁相的要求，满足了换能系统工作时的高速谐振需求。