介绍了一种利用氦离子化检测器（DID）分析高纯四氟化碳中微量氧气、氮气、二氧化碳和六氟乙烷的方法。利用阀切割技术能够将大量的四氟化碳主成分切割,使其不进入检测器系统。该方法对杂质的检测限能够达到0.01×10-6,经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度。