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MEMS微针研究
作者:
贾书海
李以贵
朱军
孙潇
来源:
仪器仪表学报
日期: 2022-12-07
人气:6
MEMS微针是目前的一个研究热点,是实现无痛给药、抽血和生化检验集成化的关键.本文探讨了MEMS微针的研究进展,给出了MEMS微针的研究结果,讨论了MEMS微针在实际中应用还应解决的关键问题.
关键词:
微电子机械系统(MEMS)
微
针
高深宽比
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