<正> 1.引言同步辐射学术界把术语“rms倾斜误差”看作是对反射镜表面面形误差定量表示的一个很 重要的参量。新型同步辐射光源为了保持高亮度的光束质量.要求rms(均方根)表面倾斜误差不超过0.2arcsec(1μrad),为了说明这个允差的大小,举一个直径35mm的平面反射镜变形呈球形为例,其变形量只能有λ/40(峰至