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基于柔性铰链结构的二维微动工作台的设计分析

作者: 张建雄 孙宝元 来源:压电与声光 日期: 2024-03-18 人气:20
基于柔性铰链结构的二维微动工作台的设计分析
介绍了基于压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的二维微动工作台。该微动台采用双柔性平行四连杆结构,运用参数化的分析方法求得铰链各尺寸对微动台固有频率、应力以及刚度的影响,将理论分析、有限元计算和试验测试的结果相结合,提出了一种微动台的设计方法。
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