探测效率是X射线光电子能谱仪一个很重要的仪器参数。本文提出了两种测量谱仪探测效率的方法，并对国产的NP-1A型XPS谱仪的探测效率进行了测量。根据谱仪的探测效率曲线可以对原子灵敏度因子进行定标，这对于XPS定量分析具有很重要的应用价值。