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> 内孔同轴度测量
以无衍射光为基准的内孔同轴度测量仪
作者:
张新宝
李柱
来源:
激光技术
日期: 2024-07-31
人气:35
沿着z轴方向传播的无衍射光决定了一条空间直线。加之无衍射光束的光轴比准直激光束稳定,适于作空间直线度/同轴度误差测量的直线基准。以无衍射光为基准,结合圆度测量及其修正技术,实现了一种内孔同轴度的高精度测量技术。介绍了内孔同轴度测量技术的工作原理,并从误差的理论分析和试验来作了证明。
关键词:
无衍射光
高精度对准
直线度误差的修正
内孔同轴度测量
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