依据工作原理,比较了掠出射X射线荧光分析技术(GEXRF)和掠入射X射线荧光分析技术(GI-XRF)的优缺点,比较角度包括实验装置、探测限、可探测元素范围、基体效应以及实验精度.比较结果表明,GEXRF的优点体现为:对实验装置要求低,对轻元素(4＜Z＜20)特别灵敏,能对大样品进行检测,实验精度高;缺点体现为:临界厚度小,探测限高."对轻元素特别灵敏"的特点决定了GEXRF的应用领域将主要集中在化学元素微量和痕量分析以及半导体工业中Si薄膜表面轻元素检测等方面.