综述了光学方法中以频率跟踪方法，外差干涉仪，调频干涉仪，偏振干涉仪和光学光栅为代表的光学纳米测量方法，分析了它们的发展状况以及各自特点，指出建立适合纳米测量的纳米环境是目前待解决的关键问题，给出了光学纳米测量方法的发展方向在设计测量系统时应该注意的问题。