采用有限体积法计算了微尺度矩形通道中气体的三维流动,在计算中考虑了气体稀薄效应所造成的壁面相对滑移和气体的可压缩性。计算结果表明,由于壁面上存在着速度的相对滑移,壁面摩擦系数显著减小,质量流量明显加大。尽管微尺度通道中气流的马赫数通常都很小,但是气体的压缩性影响仍然不能忽略,质量流量随压力比的增大而非线性增长。