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叠氮系负型感光剂的合成和性能研究

作者: 王力元 余尚先 来源:影像视觉 日期: 2023-09-29 人气:8
叠氮系负型感光剂的合成和性能研究
合成了桐油间苯二酚对马来酰亚胺苯酚酚醛树脂聚合物。这类聚合物的双叠氮交联剂组成的负型感光树脂具有高感度,高分辨率,稀碱水显影以及优良的抗蚀性能。对树脂的组成以及叠氮交联剂的选择与感光组成物的成像性能的关系进行了初步的探讨。
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