表面光电压法是表征半导体材料特性的一种重要方法。文中介绍了表面光电压谱测试系统的硬件结构,给出了利用VC＋＋6.0进行编程来设计表面光电压谱测试系统软件,从而实现表面光电压谱信号的采集与显示的具体方法。最后给出了用该仪器对GaAs材料的表面光电压谱进行测试和分析的结果。