微光电子的重要技术──近场扫描光学显微技术近场扫描光学显微技术（ｎｅａｒ—ｆｉｅｌｄｓｃａｎｎｉｎｇｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，ＮＳＯＭ）是由美国ＡＴ＆ＴＢｅｌｌ实验室从九十年代开发，用于在数微米面积内工作的一种新型光学观察技术。在此之前，光...