采用金属有机物化学气相沉积方法制备了蓝光波段高反射率AlN／GaN分布布拉格（DBR）反射镜。利用金相显微镜、扫描电子显微镜、原子力显微镜以及分光光度计等测量手段对样品的物理特性进行了分析表征。结果显示样品的表面有少量圆形台面结构和裂纹出现，但在其他区域，样品具有较为平整的表面。该样品在462．5nm附近获得最大反射率99．4％，表面均方根粗糙度小至2．5nm。分析表明，所得DBR达到了制备GaN基垂直腔面发射激光器的要求。