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> 退偏效应
光栅多普勒纳米干涉仪
作者:
林德教
蒋弘
来源:
中国激光
日期: 2023-07-29
人气:3
用横向塞曼激光作光源构成的Dammann光栅多普勒干涉仪有利于降低热膨胀影响,测量过程中干涉臂长不变、便于克服折射率漂移,具有0.7nm分辨率。分析了光栅退偏效应的影响,与差动双频激光干涉仪进行了比对。实验结果表明,光栅间距光学8细分等间隔,当光栅栅距为20μm时其测量非线性误差不超过25nm。
关键词:
光栅多普勒干涉仪
纳米测量
退偏效应
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