本文针对复制光栅过程中 ,温度不稳定造成复制品衍射波前失真的问题进行了分析 ,并通过反复实验确定了复制光栅最佳稳定时间 ,从而提高复制光栅的一次成品率、母板利用率和使用寿命

分析了影响复制光栅衍射效率，分辨率及表面质量的因素，并介绍了提高复制光栅质量的方法。