概述了扫描隧道显微镜的工作原理，给出了采用压电材料的扫描控制方案及获取样品表面形貌信号的方法，介绍了系统中的ｚ扫描驱动器，ｘｙ扫描驱动器（扫描平台）及其非线性修正方法。