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> 扫描驱动器
扫描隧道显微镜中的扫描驱动器
作者:
路小波
陆祖宏
来源:
压电与声光
日期: 2024-03-01
人气:17
概述了扫描隧道显微镜的工作原理,给出了采用压电材料的扫描控制方案及获取样品表面形貌信号的方法,介绍了系统中的z扫描驱动器,xy扫描驱动器(扫描平台)及其非线性修正方法。
关键词:
扫描隧道显微镜
压电材料
扫描驱动器
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