利用半导体激光器作为相干照明光源，通过改变半导体激光器温度来改变其波长，实现了步进相移干涉计量。在理论分析和实验研究的基础上建立了半导体激光器温控调频相移干涉仪系统，该相移干涉体积小，结构简单，且工作可靠。