基于积分腔输出光谱技术（ICOS）的痕量气体分析仪具有结构简单、维护方便、响应速度快、灵敏度高、测量精确等突出优势。在介绍ICOS基本原理的基础上，介绍了仪器的性能特点和组成结构。实验显示该仪器具有小于±1％的线性误差和长时问稳定性。检测下限在1000次内部平均时达到250ppb。