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红外热像光学镜组轴偏测量仪
作者:未知
来源:
仪器仪表学报
日期: 2023-05-10
人气:22
原则设计了用于8-14μm红外光学镜组的轴偏检测系统,系统包括CO2激光器、可调焦望远镜、TGS热释电热像仪与计算机配合的数据读出及处理、径向跳动≤1μm,轴向晃动≤1″的高精密基准轴工作台.测量精度:角度≤2″,线度≤0.02mm.编制了轴偏数据处理程序.更换光源(用波长3.39μm的He-Ne激光代替CO2激光)系统可用于3-5μm红外光学系统的测量.
关键词:
红外光学镜组
轴偏
测量仪
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