定容式气体微流量标准装置采用定容法工作原理，用于校准热容式质量流量计，测量范围为１×１０＾－３～１０Ｐａ·ｍ＾３·ｓ＾－１，不确定度（１σ）小于１．２０％。主要分析了标准装置的不确定度。