介绍了微机械振动陀螺仪的结构特点及工作机理，建立了其力学模型，并在此基础上，对原理误差进行了定性的分析，得出了影响其精度的主要干扰源，为误差的补偿指明了方向。

扭摆式硅微加速度计量种用于测量运动物体加速度的微型惯性器件，在许多领域都有极其广泛的应用，是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。本文论述了结构组成，分析工作机理，探讨了提高灵敏度的途径，最后给出了制造工艺和测试结果。