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三点法检测环形平面的平面度误差

作者: 戴晓磊 曹学东 杨文志 吴时彬 来源:光电工程 日期: 2024-08-02 人气:56
三点法检测环形平面的平面度误差
基于三点法测量直线度误差原理(三点法误差分离技术),提出了一种新的针对大型环形工件平面度的检测方案。不同于传统的三点法测量直线导轨,该方案以封闭的圆环作为测量对象,测量结果为平面度误差而非直线度误差。叙述了三点法测量原理,以及三点法在大型环形平面的平面度检测中的应用。讨论了调零误差对测量结果的影响。提出一种有效的消除调零误差的数据处理算法,最后对该方法进行了仿真验证和实验。实验结果表明,该方法可以很好地消除调零误差,分离出被测工件的形状误差信号。
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