为了解决大孔径的高精度检测问题，介绍了一种激光非接触式大尺寸内径自动测量系统。该系统具有灵活可控的运动机构、稳定可靠的定心机构、同步伸缩的支撑机构、对称协调的扫描机构，可实现轴向自动行走、高精度同轴定位和快速扫描测量。高可靠性的控制系统和无线传输模式使其实现了远距离的实时控制和可靠性测量。高精度的温度采集模块实时监测环境温度的变化，便于温度补偿。以VC＋＋为平台的上位机软件，集数据处理与实时显示于一体，操作极其方便。另外，该系统采用相对测量原理、高精度激光位移传感器与标定好尺寸的测量臂相结合，使系统测量范围达到φ580～998mm。高精度的激光位移传感器实现系统的非接触式内径测量，测量精度高。通过对比实验和现场实验对系统的测量精度和重复性进行了验证。结果表明：系统的测量...

为了实现工业大尺寸内径参数的测量，这里设计了一套基于激光三角法的大尺寸内径精密检测系统；首先，通过TMS320F2812采集激光位移传感器的相对位移；然后，通过Zigbee无线模块实现DSP与PC机之间的数据与控制通讯，同时将极坐标下的位移量转化到直角坐标系下，最后通过最小平方中值法剔除粗大误差，然后用最小二乘法得到内径参数，使其平均误差是常规最小二乘法1／6，并且对激光位移传感器的倾斜误差以及测量臂的偏心误差提出了校正和补偿方案，提高了系统的精度。

介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪。提出了耦合差动干涉的地光程差倍增，提高了干涉仪的分辨率和稳定性，该干涉仪洁紧凑，光路布局对称性好，不存在死光程，容易装调，符合阿贝原则和结构变形最小原则，在１０ｍｍ测量范围内，获得了λ／１６００的分辨率和纳米级的测量精度。

随着微电子机械系统(MEMS,Micro Electro Mechanical System)研究的深入和产业化的需求,其检测在MEMS中的重要性越来越大.光学检测方法以其非接触、快速、高精度等优点得到了大量的应用.分析和介绍了国内外采用光学检测法进行MEMS检测的方法及相关检测仪器在测量中的应用.尤其是Nanosurf测量仪器,它是一种独立的三维非接触测量系统,扫描共焦显微镜是基于白光共焦技术,强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快,而且精度很高,并且提供了多种不同的表面分析方法.

介绍了以FPGA为核心芯片的高速图形采集系统，图形采集频率可达13．5MHz。在该系统中，还采用了PHILIP公司最新推出的视频A／D芯片SAAA7111，将电视信号转换成数字信号，并由FPGA作为控制器将数字信号民存入256KRAM，以便DSP芯片根据需要进行预处理，提取有用数据。