为了解决微靶靶球在微靶装配体中的位置关系。介绍了一种基于动态主动调焦原理的光学非接触测头，这种测头能够测量具有强反射表面的高精度金属件和光学器件，解决了形貌检测领域的一个难题。微靶靶球是惯性核聚变中的关键部分，它的装配位置关系是否准确直接关系到“点火”的成败。由于微靶靶球的特殊性，利用共焦测头这种非接触测头对靶球中心位置进行检测，测量精度要求小于3μm。根据共焦测头的原理，得出了被测面高度差和振动部件位移的数学关系式，并分析了音叉振动参数对测量结果的影响。试验结果表明：音叉振动频率波动对时间差的影响为0．14‰；音叉振动幅值波动对时间差的影响为6．8‰；时间差输出值的标准差为0．0044。能够满足测量微靶靶球中心位置的非接触，高精度和稳定性要求。