温升是引起微动台精度和环境变化的重要因素,从热特性分析着手进行微动台优化设计是提高微动台性能的一条重要途径。论文提出了一种新型纳米精度六自由度微动台结构,给出了微动台的发热热源、定子线圈等效导热系数和自然对流及强制水冷条件下表面散热系数,建立了微动台三维温度场的数学模型。根据热传导理论,完成了微动台定子线圈稳态温度场的理论计算,并采用数值方法计算了微动台在自然对流和强制水冷条件下的三维温度场分布。根据计算和分析结果,完成了微动台冷却系统的设计。结果表明,采用强制水冷后,微动台动子温升不超过1℃,满足微动台工程设计要求。

参考有限元分析结果，建立了精密运动平台结构的多刚体离散元模型，依据模态实验结果进行模型验证和修正，利用所建模型分析直线非质心驱动，以及气浮支承作用点漂移对运动平台俯仰振动的影响，提出改进措施，为后续设计提供指导。

在扫描探针纳米加工技术的基础上,提出了利用原子力显微镜（AFM）来制作高频光栅的新工艺.利用AFM硅制探针,在接触模式下对光盘（聚碳酸酯材料）进行刻划试验.对刻划光栅的工艺参数进行优化,得到了纳米量级光栅.并将刻划所得光栅应用于数字云纹法,与数字参考栅干涉形成微/纳米数字云纹.实验结果表明,该法所制得的光栅可以应用于实际变形的测量.

概述航天手表研制背景与意义,分析国内外航天手表研制现状,介绍我国航天手表研发与标准化同步实施的线路和内容以及航天手表技术标准的内容与特点。

静压空气轴承拥有清洁、近零摩擦等优点，是一种优秀的运动导向承载部件，但是它在承栽方向上阻尼较小，对外界引起振动和空气轴承本身固有微振动的衰减较慢，影响了系统的稳定性和测量准确性．为了解决这个问题，本文以小孔节流空气轴承作为研究对象，在其结构中部增设了类似空气弹簧的上下腔室和节流孔，当空气轴承振动时，压力空气在上下腔室之间流动，通过节流孔处的节流效应将振动能量衰减掉．根据这一构想，首先对新结构通过空气弹簧理论进行了初步优化设计，接着对新结构空气轴承和普通空气轴承进行了冲击响应实验，证实了新结构能够很好地起到快速衰减振动的作用，同时对微振动有良好的抑制效果，然后通过模态分析软件MEscope得到了空气轴承的阻尼比系数，发现新结构空气轴承阻尼比系数较普通结构空气轴承阻尼比...

为了提高光刻机工件台中微动台的运动精度和加速度,设计了一种将支承和驱动在同一电磁单元中实现的新型Lorentz电机驱动、磁悬浮支承、并联、6自由度微动台结构,应用解析方法建立了微动台磁场模型和特定结构约束下的磁场分布。对微动台电磁力-位移特性进行了分析。采用数值方法计算了微动台电磁单元绕组损耗引起的温升。结果表明：该微动台具有驱动力大、结构简单、散热方便等优点,可为我国自主产权光刻机微动台设计提供参考。

为了研究多种作用因素在高加速、大行程条件下对超精密微动台静态精度的影响,利用刚体运动学,通过综合工件台中的线性位置误差与角位置误差,建立了超精密气浮工件台的静态误差解析模型。利用该模型,结合有限元等方法定量分析了超精密气浮工件台中加速度、制造误差、结构柔性及气浮轴承刚度等普遍存在的误差因素同时作用时对系统最终精度的影响。通过分析,证明在高加速、大行程条件下,气浮轴承的角刚度不足是造成静态误差的主要因素。

嵌入式红外信息检测与无线传输控制系统是以被动式红外信息采集为信源，以编码无线发射传输为信道，以单片机系统的信息智能分控为信宿，实现检测与控制现场分离的设计方法。其目的是将传感器应用技术、无线电应用技术、单片机应用技术、机电控制技术相融合，实现系统的通用性、可开发性以及应用领域的社会性。该系统的采用在、遥测遥控、防盗及烟雾报警、干手器、自动门、自动灯、水控开关等节电、节水装置的技术应用方面得到了很好的社会效益。