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一种确定X射线能谱仪(EDS)分析中接收角的方法

作者: 戴宏 梁浩雁 张中明 来源:仪器仪表学报 日期: 2023-05-14 人气:20
一种确定X射线能谱仪(EDS)分析中接收角的方法
利用扫描电镜中物镜电流与焦距的关系,通过实验和计算得出了物镜电流调节旋钮刻度值与样品微区高低位置的对应关系。利用该关系得到了一种确定接收角的方法。该法易于应用且适于一些特殊样品接收角的确定。
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