描述了一个新研制的二维干涉图自动采样与处理的原理和由离散的采样数据进行波面拟合的数学模型,给出了一个干涉图自动采样与处理的实例.由于在该模型中利用了 Zernike 多项式系数协方差的增广矩阵,因而比用 Gram-Schmit 正交化法求 Zernike 多项式系数的方法更为简洁.所研制的干涉图自动采样与处理系统精度高,功能齐全,使用方便,适用于一般干涉图的事后处理.

研制了用于测量光学非球面面形的条纹扫描型棱镜式剪切干涉仪。介绍了该仪器的测量原理、电路和数据处理过程。还推出了二次曲面与最适球面的差值。这样,当最适球面半径与被测件孔径相比很大时不测最适球面半径也可得到被测面相对于设计值的偏差。最后给出了一个非球面面形的测量例。

将浸有被测非球面透镜的液槽置于泰曼干涉仪的测试光路中,调整液体的折射率以改变通过被测件各点光线的光程差,使出现干涉条纹。干涉条纹的高差当量由一般干涉测试的λ/2变为λ/2(n_0-n),即可在一般的干涉仪上测量深度非球面。因此该方法是一种非常简便、实用的测量非球面的新方法。本文叙述了该方法的测量原理、测定精度、适用范围,并给出一个测量实例。