为解决气体流量阀的进出口压力变化引起输出流量波动的问题,设计了一种采用非全周开口圆柱滑阀结构的压差补偿器。该压差补偿器工作时与流量阀并联,其阀口为具有多级减压效果的典型结构。采用计算流体力学方法对压差补偿器内部流场进行仿真分析,得出不同开度下的压力流量及稳态气动力特性。研究得出在一定阀口开度范围内,气动力随阀口开度增大而增大,是影响阀芯响应速度的重要因素。该研究对于压差补偿器调压性能预测及提高控制精度具有重要意义。

为了减少微流控芯片产品胶粘接封合的缺陷，提高胶粘接封合的效果，提出了一种室温下能够实现快速柔性胶粘接封合方法，设计了适用于该方法的胶粘接封合机。该封合机选用增压缸提供压力，采用柔性材料作为封合机的压头，压头通过浮动接头与增压缸相连，导向通过滑动轴承实现，驱动系统采用气动驱动，气动回路可实现双手操作，通过调压阀和计时器调节封合压力、保压时间，并且达到保压时间后上压头自动回位，此封合机设计改善了胶粘接封合采用纯手工封合的现状，显著提升了微流控芯片胶粘接封合工艺的自动化水平。