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微流控芯片热压键合设备的结构设计
作者:
张凤莲
朱静
来源:
微细加工技术
日期: 2022-07-26
人气:1
以塑料微流控芯片的热压加工技术为基础,以实现自动化和批量化为目标,对芯片热压键合设备的机械结构进行设计研究,在保证芯片受压均匀的情况下,对设备机身的结构、加压方式等进行了分析,确定设备机身采用闭式双立柱结构,上部加压方式,通过力矩电机、螺旋升降机带动压头完成压力输出,并对压头的运动进行导向.实验表明,在热压芯片时,该设备能够将优化的工艺参数复现,制作的芯片质量稳定,一致性好.
关键词:
塑料微流控芯片
热压成形键合设备
机械结构设计
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